台積電的秘密武器 林本堅
1. 認識林本堅
林本堅 （1942年－）廣東潮安人，出生於越南華僑家庭，1963年畢業於國立台灣大學電機工程學系，後留學美國，1970年畢業於俄亥俄州立大學獲得電機工程學博士曾任職於IBM研發部經理。2008年成為美國國家工程院（US National Academy of Engineering）院士，2014年當選台灣中研院院士、國立清華大學特聘研究講座教授、半導體研究學院院長、台積電-清大聯合研發中心主任，台積電研發副總經理。
1992年從IBM提前退休並同年創立領創公司擔任總經理，2000年回到台灣加入台積電。2002年研發出193奈米浸潤式微影技術，後該技術為ASML看重並得到採用，2015年從台積電退休後，擔任國立清華大學特聘研究講座教授、半導體研究學院院長。
2. 半導體產業
半導體產業成為地緣政治、兵家必爭下台灣的護國神山。清大校長賀陳弘說，「山不在高，有仙則靈」，半導體是護國神山， 2021年在清大半導體學院揭牌典禮上，總統蔡英文公開認證，「每所半導體學院都有祕密武器，我看清華大學的祕密武器就是林本堅院長。」事實上，林本堅不只是清大的祕密武器，更曾是台積電在先進製程上超越英特爾、三星等對手的祕密武器。林本堅的出山震撼業界，這位產官學界為解決半導體人才難題，聯手請來坐鎮清大半導體學院的「老神仙」，被賦予打造台灣半導體「未來祕密武器」的寄望。
台積電人叫他Burn爺爺的林本堅，本來預計於2008年、65歲就要退休，但台積電打死不肯，硬留下林本堅，到了2015年，林本堅以73歲之齡離開待了15年6個月6天的台積電。
受《風傳媒》專訪，林本堅說，原想年紀太大，除了去傳福音之外，大概什麼事都不能做了。沒想到各路人馬持續搶進林本堅。清大為說服林本堅，動員所有關係，最後校長、副校長都出馬了。
3. 張忠謀說林本堅
台積電創辦人張忠謀於台積電特別為林本堅舉辦的退休晚會上為其定調。張忠謀說，「0.13微米在Burn來的時候，是我們在technology（技術）的轉捩點。我雖不能像英國首相邱吉爾對阿拉曼戰役（El Alamein）所說的"Before Alamein we never had a victory. After Alamein, we never had a defeat.”（在阿拉曼之前我們從未戰勝，在阿拉曼之後我們從未戰敗）來形容他（林本堅），但是0.13微米確實是我們的轉捩點。我們跟聯電那時候是差不多的，可是0.13微米之後，我們就把聯電拋在後面。」
張忠謀表示，「Burn的建樹非常大，微影在半導體技術的邁進中扮演一個重要的角色，Burn是我們微影的功臣。」台積電前營運長蔣尚義說，「在半導體技術史中，本堅貢獻最大的是提出浸潤式微影技術的構想，並說服業界接受，而成為一代主流的技術。」
到底什麼是改寫全球半導體歷史的浸潤式微影？林本堅說，過去半導體晶片製程主要採用乾式曝光，以「空氣」為鏡頭和晶圓之間的介質，使光罩上的圖形在晶圓上成像，但為了增加解析度而要把光源的波長從193奈米縮短到157奈米這一關一直卡住。
結果，林本堅把介質從空氣改為水，光的波長在水中縮短為134奈米，得以刻出更精密的晶片。這項創新改寫了半導體業十幾年的發展藍圖，對台積電、台灣半導體，甚至是全球半導體產業影響深遠。
4. IBM2的短視
林本堅這位半導體界技術的「一代宗師」，其實並非一路順遂。林本堅於1970年進入IBM，總共待了22年。當時在IBM紅的是X光微影技術，不是林本堅領軍的深紫外光微影。
在IBM時是少數，林本堅提到，開會的時候曾對IBM主管說，「你們把給X光的錢給我10分之1，保證做出比你們好的研究結果。」但是沒有人理林本堅。
林本堅說，「我X光、深紫外線都做過，我會計算，知道他們的極限在哪裡。」有一天，X光微影研究有了重大進展，他的上司發給每人1件印上「X ray works」（X光有用）字樣的T恤，林本堅當時幽默地在後面加上3個字，整句變成了「X ray works for the dentists」（X光對牙醫有用），還掛在辦公室牆上昭告自己的堅持。
5. 台積電撿到寶
IBM沒能留住的林本堅卻成了台積電的寶。林本堅提出的浸潤式微影震撼業界。但林本堅的宣告等於打臉另一派已經投入近10億美元的前一代技術研發，幾乎是與整個半導體業對著幹。蔣尚義曾說，當時確實有設備大廠的高層主管表達嚴重關切，「希望我能管管他，不要攪局。」
但台積電相信林本堅，且全力支持。如今結果證明，林本堅的浸潤式微影改變了半導體、台積電、台灣、全世界，而當時笑傲IBM的那群人，已不知何在。林本堅也因在產業與學界的實質影響力，於2008年成為美國國家工程院（US National Academy of Engineering）院士，2014年當選台灣中研院院士。
林本堅是科學家，講究理性、數據，可他卻信仰形而上的神學。林本堅證實，不管是去IBM，或是回台積電，甚至這次接下清大半導體學院院長，他雖非像抽籤詩般去翻聖經，不過，神確實用祂的方式告訴林本堅要怎麼走。
自稱「小小的、懂得神學的科學家」從台積電退休時，許多人認為是台積電的損失。而當時林本堅掛心的，是台積電裡面許多吃苦耐勞、任勞任怨的工程師，「我對台積電最大的牽掛就是不要讓他們流失，讓台積電繼續保持世界領先的地位。」
林本堅對「人才」的一棒接一棒有其擔憂，他接受《風傳媒》訪問也證實，台灣半導體人才已經出現斷層。林本堅接下清大半導體學院院長，政府、產業、學界都希望「林本堅能多調教出幾位林本堅」。
另一方面，林本堅也希望他的學生真的對半導體有興趣，日以繼夜地投入研究，有時太太也會抱怨，有次他挑了個大半夜帶太太去研究中心停車場一看，後來太太就沒意見了。
原來，公司即便半夜，停車場仍燈火通明且停了很多車。林本堅說，很多董事都因為自己有興趣而加班，加班沒加班費，大家都是這樣拚出來的，有興趣才能發現樂趣，才有機會在職場鬥爭中撐下去。
取材《風傳媒》
